超純水是眾多工業需要的生產原料及產品清洗用水，本文將針對在制備超純水過程中，超純水存在的TOC由來以及解決措施進行介紹。超純水中存在的TOC由來1)原水：地表水中TOC含量很高，一般在1~2mg/L或更高，難于用其制備TOC<50μg/L的純水。2)脫氣塔：許多地區的原水含HCO3或CO2高，必須進行脫氣處理，脫氣塔多數與大氣接觸，大氣中的TOC含量高。3)陰離子交換樹脂污染：國內均采用復床或混床系統脫鹽，陰離子交換樹脂本身會使TOC濃度增加。4)PVC焊接：大部分水系統管材都采用PVC材料，用焊條焊接，PVC材料及焊料均會引進TOC污染。超純水存在的TOC解決措施在EDI超純水設備中，采取一些措施后能使水中TOC含量降低，如用TFCRO膜(薄層復合膜)，TOC濃度由800μg/L下降到350μg/L，將PVC管道改為聚偏氟乙烯(PVDF)管道，TOC濃度由350μg/L下降到150μg/L。用TFC ESPA超低壓反滲透膜作為終端反滲透器，可降低TOC濃度，若進水TOC濃度為20μg/L，則出水的TOC濃度能降低到10μg/L。用EDI也能降低部分TOC濃度，當EDI進水中的TOC濃度為100~300μg/L時，EDI可將70%~80%的TOC氧化，20~30%的TOC可擴散到EDI的濃室而被去除，只有0~5%的TOC殘留在EDI的產品水中。通過引進國外的水處理edi技術，且應用在個工業領域，得到了很好的評價及推廣，供應的所有edi水處理設備都能夠連續制備高品質超純水，無需使用酸堿再生，其與傳統混床離子交換技術相比，具有水質穩定、運行成本極低，且不需要經常再生等特點。